真空探針熱臺可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試(4.2K~500K),可升級加載磁場(chǎng),低溫防輻射屏設計,樣品臺采用高純度無(wú)氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著(zhù)良好穩定性和重復性的PT100或者標定過(guò)的硅二極管作為測溫裝置,支持光纖光譜特性測試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動(dòng),器件的高頻特性(支持頻率上達67GHz),探針熱沉設計,LD/LED/PD的光強/波長(cháng)測試,自動(dòng)流量控制,材料/器件的IV/CV特性測試等。
真空探針熱臺關(guān)機操作:
(1)所有圓片測試完畢后,載片吸盤(pán)上沒(méi)有圓片且已回到右下角上料位置,此時(shí)可以關(guān)機。
(2)關(guān)閉顯微鏡照明燈開(kāi)關(guān)。
(3)關(guān)閉自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源。
(4)關(guān)閉自動(dòng)探針臺總電源(即電源插座開(kāi)關(guān)),確認散熱風(fēng)扇處于停止狀態(tài)。
(5)關(guān)閉真空閥(順時(shí)針為關(guān))。
(6)關(guān)閉壓縮空氣閥(順時(shí)針為關(guān))。
真空探針熱臺安全注意事項:
(1)在沒(méi)有真空或壓縮空氣(或壓力不足)的情況下嚴禁開(kāi)機測試。
(2)為了保護設備,開(kāi)機時(shí)必須先開(kāi)真空和壓縮空氣閥,再開(kāi)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源;關(guān)機時(shí)必須先關(guān)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源,再關(guān)真空和壓縮空氣閥。
(3)打開(kāi)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源之前,必須確認散熱風(fēng)扇處于轉動(dòng)狀態(tài),不正常工作可能會(huì )燒壞主機電源。
(4)設備正常測試時(shí)嚴禁打開(kāi)設備上的參數設置面板和操作控制面板。