技術(shù)文章
Technical articles等離子清洗機的優(yōu)勢:
1:真空度:用皮拉尼原理測量精確到Pa,千帕是用壓力規測試,不是一個(gè)量級的。
2:傳感器:用的進(jìn)口的氣體流量傳感器,是質(zhì)量流量計檢測氣體,精確度是通入流量的±1.5%。浮子流量計,是滿(mǎn)量程的4%,而且浮子球是上下浮動(dòng),手碰一下亂跑,真實(shí)效果達不了那么高。
4:功率是150W,國內都是統一的。
5:2路流量計,質(zhì)量流量計采集更精準,流量控制 2個(gè)精密針閥調節,線(xiàn)性調節度較好。
6: 真空采集皮拉尼原理真空計,測量大氣壓到0.1Pa的絕對真空。
7: 通過(guò)精準的流量檢測及真空采集 使自動(dòng)控制一氣呵成,通過(guò)檢測固定的真空值讓射頻輝光,即使是手動(dòng)匹配射頻電源,也只需要匹配一次,下次相同工藝,基本不需要再次調節匹配 。
問(wèn):清洗光刻膠可以嗎?
答:簡(jiǎn)單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉,光刻膠的基本成分是碳氫有機物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過(guò)泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。
問(wèn):可以去除表面雜質(zhì)和一些膠嘛?
答:這個(gè)就是清洗半導體芯片表面纏雜的膠和雜質(zhì),可以去除納米級別的微小的膠和其它顆粒或者薄膜。
問(wèn):操作方便嘛
答:操作很方便。開(kāi)關(guān)打開(kāi)后,石英腔體抽真空,然后產(chǎn)生等離子,等離子和表面的污染物產(chǎn)生反應,產(chǎn)生廢氣,真空泵把廢氣抽走,等離子清洗機里面有一個(gè)托盤(pán),咱們把產(chǎn)品放托盤(pán)上面,就可以清洗了。